ICP光谱仪主要是通过热激发来获得特征辐射的，因为分析物原子可以被激发至各个激发态能级，所以在原子光谱中发射光谱的谱线为复杂，光谱干扰非常严重。
icp发射光谱法与采用经典光源的发射光谱法相比，因为只改变了激发光源，提高的只是光源的分析性能，所以光谱干扰的问题依然存在，并且没有得到任何改善。
因此在进行定量分析时往往必须考虑光谱干扰的问题，需要选择适当的校正方法。发射光谱谱线多是形成光谱干扰的主要原因，但同时它也为我们提供了丰富的信息，让我们有了更多的选择余地，这也是其定性分析之所以准确可靠的原因所在。
当我们进行定量分析时，如果我们选用的分析灵敏线被与其他谱线发生了重叠干扰，这时我们就可以重新选择没有被干扰的谱线。
特别值得一提的是现在很多的商品仪器已经采用了中阶梯光栅的二维色散方式，使光的色散率和谱线的分辨率得到了明显的提高，这无疑又为我们选择分析线创造了更好的条件。
下面让我们一起来了解一下ICP光谱仪的优点:
1、多元素同时检出能力。可同时检测一个样品中的多种元素。一个样品一经激发，样品中各元素都各自发射出其特征谱线，可以进行分别检测而同时测定多种元素。
2、分析速度快。试样多数不需经过化学处理就可分析，且固体、液体试样均可直接分析，同时还可多元素同时测定，若用光电直读光谱仪，则可在几分钟内同时作几十个元素的定量测定。
3、选择性好。由于光谱的特征性强，所以对于一些化学性质极相似的元素的分析具有特别重要的意义。如铌和钽、铣和铪、十几种稀土元素的分析用其他方法都很困难，而对aes来说是毫无困难之举。
4、检出限低。一般可达0、1~1ug·g-1，值可达10-8~10-9g。用电感耦合等离子体(icp)新光源，检出限可低至数量级。
5、用icp光源时，准确度高，标准曲线的线性范围宽，可达4~6个数量级。可同时测定高、中、低含量的不同元素。因此icp-aes已广泛应用于各个领域之中。
6、样品消耗少，适于整批样品的多组分测定，尤其是定性分析更显示出*的优势。
