X射线荧光(XRF)镀层测厚仪虽具备无损、快速优势，但其测量结果易受工件几何特征影响，尤以表面粗糙度和曲率较为显著。
粗糙表面会增加X射线散射，降低特征荧光强度，导致测厚值偏低。实验表明，当Ra从0.1μm增至2.0μm时，1μm镍镀层读数可能下降15%–25%。而曲面效应则因焦点偏移与入射角变化引起信号衰减：在直径<10 mm的圆柱体上，测厚误差可达±30%。
为补偿这些影响，可采取以下策略：
1)校准匹配：使用与被测件相同基材、相近粗糙度和曲率的标准片进行校准，而非平面光滑标样；
2)多点平均：在曲面或粗糙区域采集5–10个点取均值，减少局部波动；
3)软件修正：部分仪器内置“曲面补偿”或“粗糙度因子”输入功能，通过算法校正；
4)辅助测量：对关键件辅以金相显微切片法验证XRF结果。
此外，测试前应清洁表面油污与氧化膜，因其同样会吸收X射线。对于高精度要求场景(如连接器触点镀金)，建议结合轮廓仪测量Ra值，并建立企业内部修正数据库。唯有将几何因素纳入全流程控制，镀层测厚仪才能真正支撑电镀工艺的稳定与产品可靠性。
