X荧光光谱仪是用来测定物质中元素的种类和含量的仪器，大家都知道物质是由元素构成的，每一种元素的原子能级结构是特定的，跃迁时产生的特征X射线的能量也是固定的(两轨道电子壳层的能量差)。因此通过测定特征X射线的能量，便可以确定相应元素，而特征X射线的强弱则代表该元素的含量。
X荧光光谱仪的校准标准有三种：一是拉氏(LAR)标准液，即由美国芝加哥大学准备的稀释液，其主要元素有铜、锌、铅、钒和镍。二是国家行业标准，即政府出台的行业标准样板，其元素包括钙、钛、铝、铅、钴、铁等等。三是国际标准，经过定期测试，由国际标准编制机构编制的元素标准，是为各国根据就仪器技术要求和环境要求所制订的。
正确选择、调整合适的标准是非常关键的，它可以提高X荧光光谱仪的测量效果，也可以使测量的数据更加准确，避免测量出现偏差等问题。因此，当使用X荧光光谱仪时，一定要保证标准的正确性，以便得到准确的测定结果，这也是X荧光光谱仪能成为定量分析仪器的关键。
