X荧光光谱仪的原理就是：X射线管通过产生入射X射线(一次X射线)，来激发被测样品。 受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线(又叫X荧光)，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量或者波长。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。
X荧光光谱仪的注意事项：
1、在测量过程中，不要突然断电。
2、不要直接分析低熔点样品，如低熔点沥青、苯酚、油漆等，有些样品在室温下是固体，经射线照射会融化，如果滴到光管头上，会损坏仪器。如果要分析，请放在液体杯内测量。
3、在开启仪器前，一定要注意先开启载气。
4、检查原子化器下部去水装置中水封是否合适。可用注射器或滴管添加蒸馏水。
5、一定注意各泵管无泄露，定期向泵管和压块间滴加硅油。
6、实验时注意在气液分离器中不要有积液，以防液体进入原子化器。
7、在测试结束后，一定在空白溶液杯和还原剂容器内加入蒸馏水，运行仪器清洗管路。关闭载气，并打开压块，放松泵管。
8、从自动进样器上取下样品盘，清洗样品管及样品盘，防止样品盘被腐蚀。
9、更换元素灯时，一定要在主机电源关闭的情况下，不得带电插拔灯。
